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集成电路的工艺技术有哪些(什么是集成电路)

集成电路的工艺技术有哪些(什么是集成电路)超净厂房技术;超纯水、高纯气体制备技术;光刻掩膜版制备技术;材料准备技术。辅助工序掺杂技术:主要包括扩散和离子注入等技术。后工序划片;封装;测试;老化;筛选。

集成电路制造工艺概述

主要分以下几个工序

前工序

图形转换技术:主要包括光刻、刻蚀等技术;

薄膜制备技术:主要包括外延、氧化、化学气相淀积、物理气相淀积(如溅射、蒸发) 等;

掺杂技术:主要包括扩散和离子注入等技术。

后工序

划片;封装;测试;老化;筛选。

辅助工序

超净厂房技术;超纯水、高纯气体制备技术;光刻掩膜版制备技术;材料准备技术。

75页内容介绍集成电路制造工艺(文末有获取)


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