聚焦离子束显微镜应用（聚焦离子束显微镜）

聚焦离子束显微镜应用（聚焦离子束显微镜）3.聚焦离子束显微镜(FIB-SEM) 测试

1.FIB透射样品制备流程

聚焦离子束（FIB）与扫描电子显微镜（SEM）耦合成为FIB-SEM双束系统后，通过结合相应的气体沉积装置，纳米操纵仪，各种探测器及可控的样品台等附件成为一个集微区成像、加工、分析、操纵于一体的分析仪器。

2.样品制备

样品制备是TEM分析技术中非常重要的一环，但是由于电子束的穿透力很弱，因此用于TEM的样品必须制备成厚度约为50~80nm的超薄切片。要将样品切割成如此薄的切片，许多情况下需要用到FIB(Focus Ion Beam，聚焦离子束) 进行TEM样品的制备。

3.聚焦离子束显微镜(FIB-SEM) 测试