汉钟精机真空泵技术含量（半导体真空泵行业龙头）

汉钟精机真空泵技术含量（半导体真空泵行业龙头）干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积（ALD）、封装、测试等清洁严苛的制程。汉钟精机的半导体真空泵以螺杆泵、罗茨泵为主，已推出 PMF、iPM、iPH 三个系列，分别适用于清洁、半严苛和严苛制程，能够满足半导体先进工艺要求。半导体真空泵：竞争格局：2021年汉钟精机真空泵收入10.4亿元，其中拉晶环节用真空泵收入占比约70%，即拉晶真空泵收入7.3亿元。根据测算，2021年国内拉晶真空泵市场规模约10亿元，对应公司市占率达70%。在光伏电池片真空泵国内份额约 26%，低于光伏拉晶真空泵份额70%。汉钟精机真空泵技术路线为螺杆泵，相比于涡旋泵泵及罗茨泵，具备结构简单、能耗低等成本优势，契合光伏行业降本需求。

真空泵行业分析：

真空泵是指利用机械、物理或化学方法在某一封闭空间中产生真空环境的装置。按照真空度和气压范围来划分，真空泵可分为低真空、中真空、高真空及超高真空四类，应用于不同的真空要求环境。真空泵下游主要为泛半导体领域，包括集成电路、光伏、LED、平板显示、锂电池等，2019年泛半导体占比约46%。据Verified Market Intelligence 测算，2021年全球真空泵市场规模为364亿元人民币，预计 2021-2030 年复合增速 6%，增长稳定。

光伏真空泵：

真空泵应用于拉晶和电池片环节。在拉晶环节，单晶炉炉膛内持续通入惰性气体，真空泵负 责不断地从炉膛向外抽气，起到保持炉膛内真空度稳定的作用。在电池片环节，真空泵为 PECVD、ALD、组件层压提供真空环境，避免硅片被氧化，并减少原始污染。

竞争格局：

2021年汉钟精机真空泵收入10.4亿元，其中拉晶环节用真空泵收入占比约70%，即拉晶真空泵收入7.3亿元。根据测算，2021年国内拉晶真空泵市场规模约10亿元，对应公司市占率达70%。在光伏电池片真空泵国内份额约 26%，低于光伏拉晶真空泵份额70%。

汉钟精机真空泵技术路线为螺杆泵，相比于涡旋泵泵及罗茨泵，具备结构简单、能耗低等成本优势，契合光伏行业降本需求。

半导体真空泵：

干式真空泵是半导体各制程中必备的通用设备，应用于单晶拉晶、Load-Lock、刻蚀、CVD、原子层沉积（ALD）、封装、测试等清洁严苛的制程。汉钟精机的半导体真空泵以螺杆泵、罗茨泵为主，已推出 PMF、iPM、iPH 三个系列，分别适用于清洁、半严苛和严苛制程，能够满足半导体先进工艺要求。

半导体真空泵需求测算：

根据SEMI数据，2021-2025年全球晶圆厂产能将从约916万片提升至约1226万片（12 寸等效），带来真空泵的新增和替换需求。其中，中国大陆12寸晶圆厂全球产能占比将从19%提升至23%，8寸晶圆厂产能提升66%。中国台湾12寸晶圆厂全球产能占比从 22%下滑至 21%，8寸晶圆厂产能提升11%。

根据中科仪招股书，12寸晶圆产线每 3.5 万片/产能需要2000 台真空泵，存量真空泵每年更换约 20%。真空泵单价约10万元。

测算出2022年全球半导体真空泵市场规模158亿元，其中中国大陆45亿元，中国台湾31亿元。

公司分析：汉钟精机

主营业务：

公司业务分为压缩机、真空泵两大板块。

公司压缩机业务包括制冷压缩机和空气压缩机，前者主要用于商用中央空调、冷链物流及空气源热泵，后者主要用于空压机、工业自动化的空气源动力设备。

公司真空泵下游主要为光伏拉晶、光伏电池片及半导体。2021 年公司压缩机及真空泵收入占比分别 57%、35%，真空泵占比保持提升趋势，后续真空泵在光伏电池片、半导体领域放量成为主要看点。

财务分析：

（1）盈利能力：

2016-2021 年公司营业收入 CAGR 32%，归母净利润 CAGR 31%。

2018-2021 年公司真空泵收入CAGR达56%，远高于同期压缩机收入 CAGR 为 9%，真空泵收入占比从2018 年的 16%提升至2022 上半年的 38%。此外，真空泵毛利率显著高于压缩机，2022上半年公司真空泵毛利率 42%，高于同期压缩机毛利率30%。

（2）现金流：

公司现金流常年为正且逐步增加，现金流良好。

（3）偿债能力：

公司资产负债率小于50%，有息负债率小于20%，偿债能力良好。

（4）资产结构：

总资产57亿，其中货币资金14亿，存货10亿，固定资产9亿，应收账款6亿，交易性金融资产5亿.

（5）负债结构：

总负债25亿，其中应付票据及账款10亿，短期借款8亿，合同负债2亿，长期借款2亿.

财务总结：

公司净利润保持增长，毛利率净利率较为稳定，现金流良好，虽然有少量借款但货币资金充裕，财报整体良好。

最新数据：

公司2022年度实现营业收入32.66亿元，同比增长9.55%，实现归母净利润6.44亿元，同比增长 32.27%，扣非后归母净利润6.05 亿元，同比增长32.80%；2023年一季度公司实现营业收入6.90亿元，同比增加16.01%，实现归母净利润1.16亿元，同比增长27.48%。

公司在光伏长晶及电池片产业赢得了较大的市场份额，和国内光伏大厂及重要机台商（晶盛机电、深圳捷佳创、隆基绿能等）长期合作。目前上海的枫泾厂和兴塔厂两厂光伏发电屋顶面积达 41 855 平方米，2022 年度使用光伏发电量为 191.35 万度，折合约 540.22 吨标煤，截至本报告期末累计发电量为 949.47 万度，折合约 2 661.29 吨标煤。

半导体：公司作为螺杆式真空泵的龙头，同时在多级鲁式和旋片泵有市场布局。在螺杆式真空泵方面，公司积累了大量的研发与应用经验，并已经成功研发全系列中真空干式真空泵产品（满足半导体生产最先进工艺），并拥有 SEMI 安全基准验证证书。

估值：

目前pe17倍，低于历史平均20，按照未来3年20%的增速预期来看，目前估值不高。

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