常压式等离子清洗机（常见的等离子清洗机真空度单位）

常压式等离子清洗机（常见的等离子清洗机真空度单位）国内外品牌等离子清洗机比较常见的真空压力单位有3个，即帕斯卡（Pa）、托（Torr）、巴（bar），其中后面两个单位欧美系的品牌比较常见。2 等离子清洗机几种常见的真空压力单位和相互之间的换算真空度反应的是真空状态空间气体的稀薄程度，通常用气体压力值表示。真空度越高，压力值越小；真空度越低，压力值越大。压力单位反应真空压力值的大小，由于历史和习惯的原因，不同的国家和地区使用的单位有所区别。真空等离子清洗机

等离子清洗机的真空度，是影响等离子表面处理效果的重要因素之一。国内品牌的等离子清洗机常用的真空度压力单位基本是帕（Pa），但是不同国外品牌的等离子清洗机就会出现托（Torr）、巴（bar）等单位，相互之间如何换算，有的时候不太容易搞得清楚。今天我们就来梳理一下常见的几个真空压力单位，供大家参考。

真空等离子清洗机

1 等离子清洗机的真空、真空度和压力单位

等离子清洗机是指真空反应腔室里面低于标准大气压的气体状态，微观上来讲就是腔体内的气体分子密度小于大气压的分子密度，不同的真空状态意味着不同的分子密度。

真空度反应的是真空状态空间气体的稀薄程度，通常用气体压力值表示。真空度越高，压力值越小；真空度越低，压力值越大。

压力单位反应真空压力值的大小，由于历史和习惯的原因，不同的国家和地区使用的单位有所区别。

真空等离子清洗机

2 等离子清洗机几种常见的真空压力单位和相互之间的换算

国内外品牌等离子清洗机比较常见的真空压力单位有3个，即帕斯卡（Pa）、托（Torr）、巴（bar），其中后面两个单位欧美系的品牌比较常见。

2-1 帕斯卡（Pa），简写帕，国际单位制，我国法定压力单位，是为纪念法国物理学家与数学家帕斯卡而命名。换算关系如下：

1 帕（Pa）= 7.5×10-3托（Torr）=10-2毫巴（mbar）

2-2 托（Torr），1Torr即1mmHg。Torr 参照国际单位制（简称SI）制订的中华人民共和国法定计量单位规定压强单位为Pa(帕），两种单位之间换算关系为1托=133.322帕。换算关系如下：

1托（Torr）=133.322帕（Pa）=1.33322毫巴（mbar）

2-3 巴（bar），非法定计量单位，即1平方厘米的面积上受到100万达因作用力，压强就是1巴，合100000帕。换算关系如下：

1毫巴（mbar）=7.5×10-1托（Torr）=102帕（Pa）

3 等离子清洗机真空压度的测量

用来测量等离子清洗机真空度的仪器是真空计（Vacuum Gauge），又名真空表，其度数反应的是等离子清洗机反应腔室内气压的变化和实时的数值，能否精准测量对等离子表面处理工艺很重要。不同的真空度，等离子体放电状态、等离子密度和特性区别很大。

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