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光刻机制造过程完整流程(如何用一台微细激光加工机)

光刻机制造过程完整流程(如何用一台微细激光加工机)一言以蔽之:特别是孔加工,能保证与放电加工相同或以上的尺寸精度,还可进行锥形、 倒锥孔、3维形状容器的加工。长这样:微细激光加工机ABLASER总得来说,微细激光加工机ABLASER使用高品质短脉冲激光,通过独创的精密光学设备,可获得受热影响较少的优质加工面。

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今天我要和你聊聊:

日本三菱重工的【微细激光加工机】ABLASER。

它可以利用光学头等独创技术的高速、高精度精密加工。

长这样:

光刻机制造过程完整流程(如何用一台微细激光加工机)(1)

微细激光加工机ABLASER

总得来说,微细激光加工机ABLASER使用高品质短脉冲激光,通过独创的精密光学设备,可获得受热影响较少的优质加工面。

特别是孔加工,能保证与放电加工相同或以上的尺寸精度,还可进行锥形、 倒锥孔、3维形状容器的加工。

微细激光加工机ABLASER有什么特点呢?

一言以蔽之:

主要结构件使用花岗岩,在定位结构中配置了精密标尺,达到了超过以往激光加工机的加工精度。搭载了与尖端工作机床相同的5轴控制装置,可进行曲面、复杂形状的加工。

光刻机制造过程完整流程(如何用一台微细激光加工机)(2)

加工部详情

01、利用短脉冲激光的新次元非加热加工

通过短脉冲激光(微微秒激光)使照射点“升华”,与以往的纳秒激光相比,将热影响降低到最小。

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能防止被加工工件的变质、变形、飞溅,实现以往所没有过的锋利边缘和良好的内面 粗糙度。

光刻机制造过程完整流程(如何用一台微细激光加工机)(4)

02、花岗岩床身和精密定位结构

微米级的精密加工,实现加工误差小于±0.002mm。

03、5轴控制装置

对螺旋桨形状或球体等曲面的自由加工。

04、开发基于独创技术的光学头,实现高精度螺旋式加工

在光学头上采用将激光束调整到任意的孔径并使其高速旋转的独创技术。 由此可对直孔或任意的锥形孔进行高精度、高效的加工。

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与以往的加工法的比较,有什么不同?

与以往的微细加工方法相比,加工面和边缘的品质更好。

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来源:日本三菱重工官网


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