辽宁纯氧微纳米曝气系统原理（精华版-半导体电子特气系统浅谈）
辽宁纯氧微纳米曝气系统原理（精华版-半导体电子特气系统浅谈）电子特殊气体依据性质分类气房示意图工业安全 工艺控制 纯度控制基本供应架构气房一览
特殊气体供应系统目的
由气体供应责任部门建造及操作之气体化学物质输送系统，即设计部门根据终端用户化学物质需求量及其物质特性，分别建立其特定输送系统，得以安全的，高品质的，不中断的输送至生产线设备使用，如：半导体工厂，太阳能工厂，液晶面板工厂…等
电子特殊气体的供应，除去几种低蒸气压的可能采用Bubbling或N2/Ar驱动外，基本都采用自身蒸气压驱动的输送方式，几大重点关注项目如下。
- 蒸气压/气压驱动模式
- 防止过程泄漏及过程污染
- 压力的稳定度调节
- 低蒸气压供应系统的温度梯度建立
- 颗粒物的控制
- 自动吹扫系统
三大要素：
工业安全 工艺控制 纯度控制
基本供应架构
气房一览
气房示意图
电子特殊气体依据性质分类
- 惰性气体：CF4，C2F6，SF6，N2O，C4F8，Ne/Kr，He，CHF3......
- 毒性/腐蚀性气体：NF3，Cl2，WF6，HBr，BCl3，SiH2Cl2，F2/Ke/Ne......
- 可燃性气体：SiH4，CH2F2，CO，CH4/Ar，CH3F......
气体分类
气体举例
电子特殊气体依据蒸气压分类
- 低蒸气压气体：BCl3，ClF3，WF6，C5F8，SiH2Cl2，DEZ，TMA......
此类气体以液态形式储存在钢瓶中，在室温下饱和蒸气压均小于10psig，若输送管道过长则容易在管道内部形成冷凝液态。在管道设计部分需在确保蒸气压的同时需形成温度梯度，通过加热套或冷却套的方式。另，加热或冷却的装置需设置安全及工艺连锁，避免温度过高或过低。
- 高蒸气压气体：除低蒸气压气体之外的其他气体
气体间兼容性表
特殊气体供应系统需设置安全连锁系统
- 火警侦测器
- 地震仪
- 气房负压控制
- 消防水系统
- 气体侦测系统
- 过流量控制系统（可选）
气体侦测器设置位置
- 设备风管
- 气柜风管
- VMB风管
- 气体供应/使用端环境点
- 气体储存柜
低蒸气压供应系统示意图
高蒸气压供应系统示意图
高纯气体管路设计要素
- 气体管路分为单套管和双套管：自燃性， 剧毒性及 三氟化氯（ClF3）气体需使用双套管，其他气体可选用单套管
- 特气管路须每间隔一定距离张贴标签，注明气体种类，流向等信息
- 特气管路系统除焊接外的任何接口、接头需在柜体内部并排气侦测
- 特气管路材料的选择需依据气体特性及纯度要求，垫片的部分同样需考虑材料兼容性
- 无微尘颗粒物
- 无泄漏
- 无死角空间，最小有效面积
- 良好的抗腐蚀特性
- 具备两层安全设计原则
- 良好的表面粗糙度控制
- 适当的管路钝化处理
- 五项测试的有效性：保压，氦检，水，氧，微粒子
特殊气体气瓶柜设置目的
- 排风装置，负压控制
- 自动控制并监控
- 自动吹扫
特殊气体气瓶柜基本架构
- 1支N2/He吹扫气瓶
- 2支工艺气气瓶，分布online和standby
特殊气体气瓶柜分区管理
- 依据气体特性分房间加强管理
- 特定的气房需定义为防爆区
常见气体气瓶接头
- JIS
- CGA
- UHIS（DISS）
- GB
- 等
气体侦测系统设置
- 1TLV高报警-黄色
- 2TLV高高报警-红色
- 连锁关闭系统或系统报警
关键部件示意图
气柜P&ID示意图
BGDS
GC
惰性系统
低蒸气压系统
高蒸气压系统
腐蚀性系统
特殊气体气柜设计安全
- 气体泄漏侦测
- 自动阀门连锁
- 电控箱体Z-Purge
- UV/IR火焰侦测
- 紧急关断按钮EMO
- 柜门自动关闭
- 柜体内部隔板
- 过流量控制连锁
- 消防喷淋
- 蛭石
- CCTV
- 等
BGDS
VMB
工艺吹扫流程示意图
气柜附属设施要求
气瓶操作小贴士
- 钢瓶在放置前、确认气体名称及充填钢瓶、空钢瓶。
- 钢瓶在安置前、必须首先确认阀门处于关闭状态。
- 操作人员必须经过专门培训，并严格遵守操作规程；
- 了解钢瓶阀门的构造。绝对不能松动安全阀门。
- 在钢瓶安置后、对钢瓶的连接处进行彻底吹扫。
- 钢瓶的安置需使用正确的力矩、并严格实行气密试验
- 钢瓶安装前需确认Pigtail接口密封面洁净并且无损伤；
- 对于钢瓶垫片，需一次性使用，并正确安装；
更换钢瓶的过程中，要特别注意：
- 整个钢瓶更换过程中，必须佩戴相应的PPE
- 用工具刀打开钢瓶塑封和扎带
- 严禁在钢瓶移入气柜前打开闷头
- 选择合适的垫片
- 钢瓶接口和pigtail连接过程中要保证顺畅，不可用蛮力，以免对这些部件造成损伤
- 钢瓶联接完毕之前尽可能不要触及钢瓶阀门手轮
- 钢瓶更换完毕后，打开钢瓶阀门时，动作也应该缓慢 (保证此时佩戴正确的PPE)
气瓶泄漏处理建议
【泄漏微量时】
- 从钢瓶阀门处发生泄漏时，应在上风位置关紧钢瓶阀。（必要时戴上防护用具）若不能阻止泄漏时，应戴上防护用具、套上出口防尘盖后，转移到安全的场所。
- 钢瓶阀口以外部分发生泄漏时，戴上防护用具后，转移到安全的场所。
【发生大量泄漏时】
- 迅速转移到上风口处避难。并连呼“气体泄漏”使周围人员撤离。
- 戴上防护用品后，听从负责人的指示进行处理。
- 在发生泄漏的周围拉出隔离区、严禁人员进入。
- 切断泄漏地点附近的所有火源。
- 若灾害可能向周围扩散时、应迅速通知医疗、公安、消防局等相关单位
个人防护劳防用品PPE的使用
附件：
气瓶阀结构示意图
硅烷RFO对照表
调压阀结构图
APTECH
单向阀结构图
APTECH
VG结构图
APTECH
EFS结构图
APTECH
阀门结构图
APTECH
敬请多多指教！~
注： 如有侵权请告知 ，谢谢
