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真空计的原理和优缺点(真空炉的应用之真空测量)

真空计的原理和优缺点(真空炉的应用之真空测量)皮拉尼/冷阴极真空计对比皮拉尼真空计,电容式真空计的精度更高。二者的使用均与气体类型无关。绝对压力取决于膜片的挠度。因此,电容式真空计在1 000 hPa 至 1·的测量范围内提供了最佳性能。只有参照工作压力才能作出合适的选择。借助脉冲技术,普发真空的创新型真空计能够提供比传统皮拉尼真空计更高的精度。压力测量范围介于 10 hPa 至 1· hPa。皮拉尼真空计是具有最佳成本效益的真空计之一。电容式真空计(压力范围最高 1· hPa)

真空炉|真空测量

对于所有真空应用来说,准确且可重复的真空测量必不可少。这是对工艺流程开发与控制的保证。普发真空通过多种测量方式覆盖了广泛的真空测量范围。常用测量方式例如:皮拉尼、皮拉尼/冷阴极和电容式真空计。

皮拉尼真空计

(压力范围最高 1· hPa)

借助脉冲技术,普发真空的创新型真空计能够提供比传统皮拉尼真空计更高的精度。压力测量范围介于 10 hPa 至 1· hPa。皮拉尼真空计是具有最佳成本效益的真空计之一。

电容式真空计

(压力范围最高 1· hPa)

对比皮拉尼真空计,电容式真空计的精度更高。二者的使用均与气体类型无关。绝对压力取决于膜片的挠度。因此,电容式真空计在1 000 hPa 至 1·的测量范围内提供了最佳性能。只有参照工作压力才能作出合适的选择。

皮拉尼/冷阴极真空计

(压力范围最高 1· hPa)

皮拉尼/冷阴极真空计属于 FullRange 真空计。该类型的真空计将两台传感器集成在一个外壳内,以超广的测量范围脱颖而出,特别适用于中真空和高真空。对于炉内压力测量,PKR 真空计以其可靠性和坚固性著称。

皮拉尼/电容式真空计

(压力范围自 1 500 hPa 至 5· hPa)

由于皮拉尼/电容式真空计同样将两台传感器集成在一个外壳内,因此也属于 FullRange 真空计。与皮拉尼/冷阴极真空计相比,这种组合方式的优势在于价格低廉。但是,其与皮拉尼/冷阴极真空计的不同之处无法测量低于 hPa 的压力。在普发真空的产品系列中,包含此类以 PCR 命名的真空计。

产品概览

真空计的原理和优缺点(真空炉的应用之真空测量)(1)

真空炉|真空

真空

为了确保真空测量的准确性和可重复性,以及长期的工艺稳定性,必须定期校准真空计。由于传感器存在污染颗粒或冷凝物以及长期使用引起的老化,测量信号可能会发生变化。因此,校准是质量保证的一个必要组成部分,其中对测量仪器的测量信号与参考真空计的信号进行了比较。

参考真空计。标准真空计必须由经过认证的实验室进行校准(例如,德国认证的 DAkks [Deutsche Akkreditierungsstelle GmbH = 德国认证机构]、美国 NIST 认证)并且可以追溯到国家标准。

工厂和 DAkkS 校准

普发真空提供工厂级别和 DAkkS 认证级别的校准服务。校准按照高质量标准进行,并符合 ISO 3567 标准。记录的测试条件和差异记录在发布的校准证书中。

真空计的原理和优缺点(真空炉的应用之真空测量)(2)

真空炉|校准

普发真空校准系统

当使用大量真空计时,直接内部校准比外部校准更具成本效益。为此,普发真空提供专门开发的校准泵组,有基本和专业型号。这些系统包含一个集成的涡轮分子泵组,以提供精确零点调整所需的压力。符合 ISO 3567 标准的真空室可确保均匀的压力分布,并确保真空计在相同高度处对称排列。进气口和泵输入口也位于对称轴上。使用普发真空校准系统和相应的参考真空计,可以轻松进行校准,特别是在与冷冻干燥相关的压力范围内。

真空计的原理和优缺点(真空炉的应用之真空测量)(3)

*校准证书样例

产品概览

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真空炉|泄漏检测

泄漏的定位

如果泄漏率超过所需阈值,则须定位并补漏,这非常重要。氦气检漏仪检测灵敏度高、测试时间短且易于操作,是泄漏定位的理想选择。利用这种方法将冷冻干燥系统抽空。使用喷枪从外部将氦气局部喷射到密封点、焊缝和其他潜在的泄漏处。在泄漏的情况下,氦气流入抽空的真空室,被泄漏探测器检测到并吸入。为了实现较短的响应时间,泄漏探测器用于大型系统中,部分流入现有的真空系统(参见泄漏检测图)。

普发真空的理想解决方案

普发真空提供的 ASM 340 检漏仪功能强大且通用。紧凑便携的ASM 310 是移动应用的首选,例如供维修技师使用。

在大型系统上,泄漏探测器部分流向现有真空系统

真空计的原理和优缺点(真空炉的应用之真空测量)(5)

产品概览

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