荧光光谱仪滤光片的选用（光电镀膜-薄膜工艺分享）

荧光光谱仪滤光片的选用（光电镀膜-薄膜工艺分享）国产1100电子束蒸发镀膜机 博顿光电IBD-HIT300-1P霍尔中空阴极离子源；设备配置：Block Band：700~1100nm T≤5%膜层硬度＞5H；水煮3H波长漂移＜2nm

红外截止滤光片(IRCF)是利用精密光学镀膜技术在光学基片上交替镀上高低折射率的光学膜，实现可见光区（400nm-630nm）高透，近红外（700nm-1100nm）截止的光学滤光片。

博顿光电工艺试验验证中心使用电子束蒸发镀膜机完成IR-cut工艺过程：

滤光片指标要求：

Pass Band：420~630nm T%＞92%，slope ＜45nm@5%~90%

Block Band：700~1100nm T≤5%

膜层硬度＞5H；

水煮3H波长漂移＜2nm

设备配置：

国产1100电子束蒸发镀膜机 博顿光电IBD-HIT300-1P霍尔中空阴极离子源；

博顿自研智能镀膜控制平台；

薄膜沉积修正板自动测试与校正工具（博顿自研）；

材料及膜系设计：

检验市场客户较多采用性价比比较高的TI3O5高折射率材料 SIO2组合，基材：H-K9

设计采用(0.5LH0.6L0.68H)^9LHL的原始结构，优化出如下设计光谱：

TI3O5的材料试验，鉴于该材料同光波段从400nm开始，400~450nm存在吸收，所以比较多次的试用了不同离子源参数以获取比较弱吸收的参数。最后确定为以下：

SIO2材料试验：

TI3O5折射率及Tooling推算如下：

SIO2折射率及Tooling推算如下:

经过2炉（第二炉再稍微调整两种材料的Tooling比例）验证，得出如下曲线：

以上曲线很好的满足光学指标要求，我们又采用了另外一批的IR-cut（无AR coating）做了3H的水煮试验，可以看到水煮前后曲线波长基本没有漂移，如下：

检测结果表明采用博顿光电IBD-HIT300-1P霍尔中空阴极离子源，可以获得较高折射率的TI3O5膜层，在400~450nm比较低的吸收系数。通过多次验证，博顿离子源辅助镀膜可以获得稳定的膜层结构。

红外截止滤光片(IRCF)主要应用领域及产品：

红外截止滤光片(IRCF)主要应用于可拍照手机摄像头、电脑内置摄像头、汽车摄像头和安防摄像头等数码成像领域，用于消除红外光线对CCD/CMOS成像的影响。通过在成像系统中加入红外截止滤光片，阻挡该部分干扰成像质量的红外光，可以使所成影像更加符合人眼的最佳感觉。终端客户主要为苹果、三星、华为、小米、OPPO、VIVO、联想、海康等知名手机和安防品牌商。

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关于博顿光电

“博顿光电”是一家专业从事新型离子源关键技术研发及离子束装备设计和制造的创新型高科技企业。

公司核心团队在光电技术与微纳加工高端装备制造领域具备国内顶尖的专业技术研发与设计能力，目前已与中科院、北京理工大学、北京大学、暨南大学等形成战略合作关系。

博顿以高端离子源核心技术为基础，采用全自主研发技术路线，研发和生产高端离子源产品系列和离子束装备与工艺解决方案，产品填补了国内在高端离子源领域的空白，将改变高端微纳加工设备核心技术与装备长期由国外垄断的局面，解决“卡脖子”问题，促进国内光电行业产品整体水平与竞争力的快速提升。