mks真空计原理（真空计的分类及原理）

mks真空计原理（真空计的分类及原理）​4、热电偶规​​5、热阴极电离规6、冷阴极电离规​

真空计（Vacuum Gauge） 又称规，是测量真空度或气压的仪器。一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类，分别是利用力学性能，利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规（Bourdon）和薄膜电容规；利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和电热偶规；利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

1、波尔登规（Bourdon）

2、薄膜电容规

3、皮拉尼规

4、热电偶规​

​5、热阴极电离规

6、冷阴极电离规​

​