干式真空泵有几种类：干式真空泵的投入成本特点

干式真空泵有几种类：干式真空泵的投入成本特点---无废水，无污染，较少或无废弃物处理费用---深度真空，运转更灵活无油干式机械真空泵，简称干式机械泵，是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中区，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。干式真空泵的特点：---没有工业生产液流的污染

蒸汽喷射泵、湿式泵、干式泵是常用的真空泵类型。

这些年，由于对节能减排和环境保护日渐重视起来，干式泵被更多业内人士关注并选择。

干式泵以罗茨泵、螺杆泵、爪式真空泵三大类型为主。干式真空泵的投入成本特点可以简单总结为1高2低，即投资成本较高，但是运行成本和维修成本都较低。

罗茨泵

无油干式机械真空泵，简称干式机械泵，是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中区，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。

干式真空泵的特点：

---没有工业生产液流的污染

---深度真空，运转更灵活

---无废水，无污染，较少或无废弃物处理费用

---在泵排放口立即回收溶剂

---消耗水、电、气等费用较低（运行成本较低）

干式螺杆泵

爪式真空泵

干式泵的成本具体说明

***投资成本较高

***较低的维修成本

***较低的运行成本

—延长维修服务间隔时间和轴承寿命。

—在运作范围内，电力消耗较低。因此，在容能比方面节能效果更好。

—无受污染的油要进行处理（处理齿轮箱以外）。

干式真空泵的应用是广泛的，可用于多晶硅制备工艺、半导体刻蚀工艺，还有化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等领域也适合使用干式真空泵。