强度调制光纤传感器原理（感知利器）

强度调制光纤传感器原理（感知利器）《加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器结构及方法》《高精度波长形加速度传感器及其制备方法》【相关加速度传感器专利】《噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法》《单芯片硅集成三轴高频宽高冲击加速度计及其制作方法》

工欲善其事，必先利其器。在全球化的今天，专利已不仅仅是创新的一种保护手段，它已成为商业战场中的利器。麦姆斯咨询倾情打造MEMS、传感器以及物联网领域的专利运营平台，整合全产业链知识产权资源，积极推动知识产权保护与有效利用。

加速度传感器可以测量运动物体加速度，在惯性测量、惯性导航、振动测量等应用中具 有广泛的需求。相对于压阻、压电、电容原理的传统加速度传感器，光纤加速度传感器以其 技术特点成为一类重要的加速度传感器，正在受到越来越多的重视，在国民经济、国防中获 得了广泛应用。在一些重要、特殊应用领域，例如航空航天的制导系统、石油勘探的地震检 波系统、舰船的振动监测、桥梁建筑结构检测系统、交通情况监测系统等，急需具有抗电磁 干扰、高灵敏度、大动态范围、易复用的高性能光纤加速度传感器。

光纤加速度传感器按光学敏感原理主要可以分为光强调制型、相位调制型和波长调制型，业已开展了广泛、深入的研究，其中MEMS光纤加速度传感器引起了人们广泛的关注。MEMS光纤加速度传感器采用MEMS敏感结构和光纤检测技术，融合了MEMS微制造技术和光纤传感技术的特点，具有体积小、灵敏度高、批量制造等技术优势。

本发明集成了MEMS微制造技术和光纤检测技术，因而其具有MEMS微制造技术的体 积小、重量轻、批量化生产和光纤检测技术的高灵敏度、高频响应、无源、抗电磁干扰特性。 由于光信号的输入和输出在双轴加速度敏感芯片的一测，且只需两支光纤准直器就可实现双 轴加速度敏感芯片的光信号的传输，因而不仅简化了芯片的封装而且也减小了芯片封装成本 和体积。本发明的单芯片双轴加速度敏感芯片，可以和我们已经实现的垂直轴加速度传感器集 成，实现单芯片三轴光纤加速度传感器。

【相关加速度传感器专利】

《噪声可识别的高量程加速度传感器共振频率的提取方法》

《单芯片硅集成三轴高频宽高冲击加速度计及其制作方法》

《高精度波长形加速度传感器及其制备方法》

《加速度计内嵌压力传感器的单硅片复合传感器结构及方法》

【相关研究报告】

《mCube晶圆级芯片封装（WLCSP）MEMS加速度计：MC3672》

《加速度计和陀螺仪市场-2016版》

《赛峰Colibrys VS1000系列加速度计》

专利购买或技术合作请

麦姆斯咨询 殷飞 yinfei＃memsconsulting.com（@换成＃）