东方晶源突破高端光刻机（光刻机风云再起）

东方晶源突破高端光刻机（光刻机风云再起）很显然，东方晶源并没有被ASML所吓倒。就在ASML挥出“大棒”之后，东方晶源很快在深夜进行了回复，并且正式发布声明，该消息不实，而且东方晶源还表示，对于不实消息，将保留追究其法律责任的权利。简单来说，东方晶源的主营业务，就是帮助芯片生产企业提高良品率。那么问题来了，为什么ASML会突然对这样一家企业挥出“大棒”呢？要知道ASML已经通知客户，不要与东方晶源进行合作，指责东方晶源侵权。更为关键的是，ASML在发起了这一系列动作时，其并没有任何证据来证明它的主张，即ASML只是怀疑东方晶源侵权。

近日，突然被一则光刻机巨头ASML，高调指责中国高科技企业东方晶源侵犯知识产权的消息刷屏，当看到这则消息的第一反应就是，东方晶源是谁？

在我们的印象中，中国在从事光刻机设备研发的企业中，似乎并没有看到东方晶源的身影，而且目前我们国产的光刻机，最先进的机型，也只是来自上海微电子的SSA600/20，但也只是支持到90纳米。

因此要说在光刻机上会侵犯ASML的知识产权，这事有点匪夷所思。

经过了解得知，东方晶源并不是一家光刻机的研发生产企业，但是它提供的服务，却与芯片的生产制造有着密切的关系。

简单来说，东方晶源的主营业务，就是帮助芯片生产企业提高良品率。

那么问题来了，为什么ASML会突然对这样一家企业挥出“大棒”呢？要知道ASML已经通知客户，不要与东方晶源进行合作，指责东方晶源侵权。

更为关键的是，ASML在发起了这一系列动作时，其并没有任何证据来证明它的主张，即ASML只是怀疑东方晶源侵权。

就在ASML挥出“大棒”之后，东方晶源很快在深夜进行了回复，并且正式发布声明，该消息不实，而且东方晶源还表示，对于不实消息，将保留追究其法律责任的权利。

很显然，东方晶源并没有被ASML所吓倒。

那么更大的问题来了，为什么ASML在没有任何证据的情况，就急于阻碍东方晶源的发展呢？

答案，或许就在东方晶源的主营业务上。

上文中我们提到，东方晶源的主营业务是帮助芯片厂家提升良品率，目前东方晶源已经掌握了OPC、EBI和CD-SEM三大产品，可以说在良率管理领域有着深厚的功底。

那么，这又会对ASML产生什么影响呢？其实影响很大，而且已经影响到了ASML的“镇店之宝”，也就是EUV光刻机。

说到这里，我们就有必要将台积电的7纳米工艺拿来进行说明，台积电在2018年成功量产了7纳米工艺，但是第一代产品采用的依然是DUV光刻机，第二代工艺才是采用的EUV光刻机，那么为什么台积电不继续采用DUV光刻机呢？

其中的关键，就是我们上面说的良品率。

采用DUV光刻机虽然可以生产7纳米芯片，但是需要很多次的重复曝光，曝光次数越多，对于良品率的控制就越难，相应的成本就会越高。

但采用EUV光刻机后，就可以大幅减少曝光的次数，相应的就从侧面提升了良品率。

有人会说，EUV光刻机要比DUV贵不少，用EUV光刻机生产7纳米芯片岂不是成本更高了？其实对于芯片制造工厂来说，流水线上的光刻机就像“印钞机”，机器的采购价格往往不是最重要的因素。

而在台积电5纳米工艺的初期，虽然也采用了EUV光刻机，但良品率也才只有50%，后来经过继续提升良品率才得以规模量产，可见控制良品率是多么的关键。

因此从这一点上我们就看到，东方晶源的作用有多么重要，这次ASML对东方晶源这么在意，想必东方晶源已经在良品率控制方面做得非常优秀了。

而这样的话，那么在7纳米工艺上，就能让EUV光刻机“变味”了，也就是说，就可以不采用EUV光刻机，使用DUV光刻机也能保证良品率，从而有效的控制住成本。

这样的话，毫无疑问，将会对ASML的EUV光刻机销售造成直接的影响。

因此虽然ASML的EUV光刻机还不能出售给中芯国际，但是如果在良品率上得到有效控制，采用DUV光刻机，也可以实现在可控成本下的规模量产，这算是中芯的一个B方案。

总之既然ASML如此在乎东方晶源，那么我们有理由相信，在良率控制方面，ASML已经感受到了威胁，不过这对我们国产芯片制造来说，无疑会是一个好消息，对此大家怎么看呢？