东方晶源突破高端光刻机(光刻机风云再起)
东方晶源突破高端光刻机(光刻机风云再起)很显然,东方晶源并没有被ASML所吓倒。就在ASML挥出“大棒”之后,东方晶源很快在深夜进行了回复,并且正式发布声明,该消息不实,而且东方晶源还表示,对于不实消息,将保留追究其法律责任的权利。简单来说,东方晶源的主营业务,就是帮助芯片生产企业提高良品率。那么问题来了,为什么ASML会突然对这样一家企业挥出“大棒”呢?要知道ASML已经通知客户,不要与东方晶源进行合作,指责东方晶源侵权。更为关键的是,ASML在发起了这一系列动作时,其并没有任何证据来证明它的主张,即ASML只是怀疑东方晶源侵权。
近日,突然被一则光刻机巨头ASML,高调指责中国高科技企业东方晶源侵犯知识产权的消息刷屏,当看到这则消息的第一反应就是,东方晶源是谁?
在我们的印象中,中国在从事光刻机设备研发的企业中,似乎并没有看到东方晶源的身影,而且目前我们国产的光刻机,最先进的机型,也只是来自上海微电子的SSA600/20,但也只是支持到90纳米。
因此要说在光刻机上会侵犯ASML的知识产权,这事有点匪夷所思。
经过了解得知,东方晶源并不是一家光刻机的研发生产企业,但是它提供的服务,却与芯片的生产制造有着密切的关系。
简单来说,东方晶源的主营业务,就是帮助芯片生产企业提高良品率。
那么问题来了,为什么ASML会突然对这样一家企业挥出“大棒”呢?要知道ASML已经通知客户,不要与东方晶源进行合作,指责东方晶源侵权。
更为关键的是,ASML在发起了这一系列动作时,其并没有任何证据来证明它的主张,即ASML只是怀疑东方晶源侵权。
就在ASML挥出“大棒”之后,东方晶源很快在深夜进行了回复,并且正式发布声明,该消息不实,而且东方晶源还表示,对于不实消息,将保留追究其法律责任的权利。
很显然,东方晶源并没有被ASML所吓倒。
那么更大的问题来了,为什么ASML在没有任何证据的情况,就急于阻碍东方晶源的发展呢?
答案,或许就在东方晶源的主营业务上。
上文中我们提到,东方晶源的主营业务是帮助芯片厂家提升良品率,目前东方晶源已经掌握了OPC、EBI和CD-SEM三大产品,可以说在良率管理领域有着深厚的功底。
那么,这又会对ASML产生什么影响呢?其实影响很大,而且已经影响到了ASML的“镇店之宝”,也就是EUV光刻机。
说到这里,我们就有必要将台积电的7纳米工艺拿来进行说明,台积电在2018年成功量产了7纳米工艺,但是第一代产品采用的依然是DUV光刻机,第二代工艺才是采用的EUV光刻机,那么为什么台积电不继续采用DUV光刻机呢?
其中的关键,就是我们上面说的良品率。
采用DUV光刻机虽然可以生产7纳米芯片,但是需要很多次的重复曝光,曝光次数越多,对于良品率的控制就越难,相应的成本就会越高。
但采用EUV光刻机后,就可以大幅减少曝光的次数,相应的就从侧面提升了良品率。
有人会说,EUV光刻机要比DUV贵不少,用EUV光刻机生产7纳米芯片岂不是成本更高了?其实对于芯片制造工厂来说,流水线上的光刻机就像“印钞机”,机器的采购价格往往不是最重要的因素。
而在台积电5纳米工艺的初期,虽然也采用了EUV光刻机,但良品率也才只有50%,后来经过继续提升良品率才得以规模量产,可见控制良品率是多么的关键。
因此从这一点上我们就看到,东方晶源的作用有多么重要,这次ASML对东方晶源这么在意,想必东方晶源已经在良品率控制方面做得非常优秀了。
而这样的话,那么在7纳米工艺上,就能让EUV光刻机“变味”了,也就是说,就可以不采用EUV光刻机,使用DUV光刻机也能保证良品率,从而有效的控制住成本。
这样的话,毫无疑问,将会对ASML的EUV光刻机销售造成直接的影响。
因此虽然ASML的EUV光刻机还不能出售给中芯国际,但是如果在良品率上得到有效控制,采用DUV光刻机,也可以实现在可控成本下的规模量产,这算是中芯的一个B方案。
总之既然ASML如此在乎东方晶源,那么我们有理由相信,在良率控制方面,ASML已经感受到了威胁,不过这对我们国产芯片制造来说,无疑会是一个好消息,对此大家怎么看呢?