如何看懂光学镀膜图纸（一张表告诉你镀膜蒸发源的选择）

如何看懂光学镀膜图纸（一张表告诉你镀膜蒸发源的选择）镀膜蒸发源注意:上述过程必须在空气稀薄的真空环境中(10-?~1pa)进行 否则蒸发粒子将与空气分子碰撞 使膜污染甚至形成氧化物 或者蒸发源氧化烧毁等.气化原子或分子在蒸发源与基片之间的运输过程中气化原子或分子与残余气体分子发生碰撞 其碰撞与蒸发原子或分子的平均自由程以及蒸发源到基板距离有关.沉积过程:蒸发原子或分子在基片表面的沉积 即蒸汽的凝聚成核 核生长形成连续膜 为气相转变为固相的过程.

蒸发镀膜的工艺流程

加热蒸发:

包括固相或液相转变为气相的过程 每种物质在不同的温度下有不同的饱和蒸气压

运输过程:

气化原子或分子在蒸发源与基片之间的运输过程中气化原子或分子与残余气体分子发生碰撞 其碰撞与蒸发原子或分子的平均自由程以及蒸发源到基板距离有关.

沉积过程:

蒸发原子或分子在基片表面的沉积 即蒸汽的凝聚成核 核生长形成连续膜 为气相转变为固相的过程.

注意:上述过程必须在空气稀薄的真空环境中(10-?~1pa)进行 否则蒸发粒子将与空气分子碰撞 使膜污染甚至形成氧化物 或者蒸发源氧化烧毁等.

镀膜蒸发源

常用的蒸发源有蒸发舟、坩埚.

蒸发舟结构简单 使用方便 是应用较为广泛的蒸发源.常见的蒸发舟有钨、钼、钽、铌、石墨、氮化硼等.其中钨舟、钼舟、钽舟在高温时会变脆.

常见的坩埚有钨坩埚、钼坩埚、钽坩埚、石墨坩埚、铜坩埚、氧化铝坩埚、石英坩埚、氮化硼坩埚等等.