浙江无损氦质谱检漏仪工作原理，氦质谱检漏仪检漏原理图-深圳华尔升

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氦质谱检漏检测仪一般有两种检漏检测方法，一种是常规检漏检测，另一种是逆扩散检漏检测。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏检测是将被检测部件连接到分子泵排气口的一端，检漏的氦通过分子泵排气口逆泵排气方向进入安装在泵进气口端质谱管。

该检漏测量方法是基于分子泵对不同质量气体的不同压缩比（分子泵排气口气体压力与进气口压力比），即利用不同气体的反向扩散水平或多或少设计的。

逆扩散测漏允许被检件内压高，SFJ-1000001/241型氦质谱检漏仪Pa(一般常规检漏仪为00.05Pa以下)适用于检测大型器皿或有大检漏的器件，也适用于吸枪检测检漏。逆扩散还具有质谱管不易污染、灯丝寿命长的优点。

深圳华尔升智控技术有限公司是一家具有自主知识产权和持续创新能力，经营业绩稳定增长的高科技公司。公司拥有经验丰富的研究应用技术团队，稳健高效的运营团队和专业的销售队伍，主要成员均有着十多年的氦质谱检漏行业从业经验，有丰富的经验和技术实力。